マスク洗浄装置
露光機で使用しているフォトマスクを洗浄する装置です。
自動タイプ
中央に搬送ロボットを設置し、各ユニットを放射線状に配置するタイプです。
マスクケースのまま投入して人が介入せずに処理する事が出来ます。
対応基板サイズ：～G10サイズまで
オプションとして反転検査機構、UV洗浄等追加出来ます。
半自動タイプ
装置の手前に投入装置を設置する事により半自動で安全にマスク基板を投入する事が出来る
装置です。
対応基板サイズ：
～800×920mm（人手で持てる範囲）
手動タイプ
マスクの受渡しを人手で行う装置です。
対応基板サイズ：
〜508×610mm以下（対角800mm以内）
フォトマスク用プロセス装置
洗浄、塗布、現像、エッチング、剥離工程を一貫して処理を行う装置です。
対応基板サイズ：～G10サイズまで
スピンコータ
様々な基板にスピンの遠心力を使って薬液を塗布する装置です。
オートスピンコータ
投入された基板に自動で塗布～乾燥まで行う装置です。
対応基板サイズ：〜400×500mm以下（対角700mm以内）
マニュアルスピンコータ
基板の受渡しを人手又はMGVで行う装置です。
対応基板サイズ：～G10サイズまで
卓上コータ
簡易タイプのスピンナーです。
100V電源で使用出来ます。
薬液の塗布は手掛けになります。
対応基板サイズ：～8インチウェハー
スリットコータ
薬液の使用量を大幅に削減する事が出来ます。
対応基板サイズ：～塗布幅500mm以内（それ以上は要相談）
※デモ機有、テスト可能（内容は別途打合せ）
スピンクリーナー
ウェハーの洗浄を行う装置です。
スピンエッチャー
ウェハーのエッチングを
行う装置です。
ローダ／アンローダ
カセット内の基板受渡しを
行う装置です。
マニュアルホットプレート
塗布後の基板を乾燥する
装置です。
ＭＧＶ
半自動装置に付いている投入装置を走行式にした物です。
パスラインは任意に製作
出来ます。
当社の方針としましては、ファブレスを基本に製造を行います。
